。微机电系统（Micro- Electro - Mechanical System, MEMS)是指将微电子器件、微结构与微机械组件（微传感器、微执行器）集于一体的集成系统，它代表一种在电子领域与其
2023-11-14 09:25
微机电系统（MEMS， Micro-Electro-MechanicSystem）是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。
2013-01-22 16:50
什么是射频微机电系统开关？ 射频微机电系统 （RF MEMS） 开关是低功耗小型微机械开关，可以使用传统的MEMS制造
2022-05-12 17:19
美国国家标准与技术研究所（NIST）日前展示一款采用微机电系统（MEMS）的延迟线内存控制器，可望作为未来量子电脑的暂存内存控制器。
2013-03-21 09:12
为了实现核心电场敏感器件“心脏”的微型化，项目组基于MEMS技术，发明了新型的微结构电场传感器，创造性地发展了微型电场传感器及其实际应用，系统地解决了从设计、工艺到应用的关键技术。
2018-06-13 14:19
微机电系统是按照功能在芯片上的集成，尺寸一般是在毫米以下，制作工艺更加精密，需要更高的技术，微机电系统早在国外就有应用，我国起步晚，在MEMS方面的投入逐渐增大，所占市
2018-04-26 15:58
本文介绍ADI公司在微机电系统（MEMS）开关技术方面的突破。与传统的机电继电器相比，ADI公司的MEMS开关
2023-01-05 14:29
本文介绍ADI公司突破性的微机电系统（MEMS）开关技术。与传统机电继电器相比，ADI公司的MEMS开关
2019-03-04 15:34
MEMS技术是随着集成电路，尤其是超大规模集成电路发展起来的一门新技术，经过几代科学家的努力，MEMS如今在不同的行业和不同的领域相继规模化生产，展现了
2020-07-21 10:39
微机械电子系统是微电子技术的拓宽和延伸，它是将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，并将微电子与机械融为一体的系统。MEMS
2018-04-14 11:28
