微机电系统（MEMS）是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，
2009-05-25 09:34
微机电系统（MEMS）是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，
2009-11-23 13:32
微机电系统的发展及其应用:微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪的高新科技. 介绍了微机电系统产生的背景影响、组成
2009-12-29 23:45
基础微机电麦克风
2017-10-25 08:48
微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪的高新科技. 介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容,综述
2009-03-11 17:16
微机电系统是一个新兴的技术领域. 阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.[关键词] 微机电系统;微机械;微传感器;微细加工技术
2009-06-20 10:59
基于压力发电的远程微机电电源系统
2021-07-05 11:37
介绍了微机电系统的基本原理及其在空间应用的发展概况, 着重介绍了空间微传感器、微执行器、RF2M EM S、MO EM S、微仪器和微ö纳卫星的研究与进展情况。关键词: 微机电系统;
2009-07-15 08:48
随着MEMS 加工工艺的发展，微机电系统的材料特性引起了人们越来越多的关注。由于硅晶材料的残余应力会降低MEMS 系统结构的使用寿命，频繁的冲击会对器件造成致命的伤害。因此
2009-11-23 14:12
分析了分布式微机电系统特点，对基于多主体控制的分布式微机电系统构成进行了研究，提出了采用多主体技术实现分布式MEMS控制的框架。对系统的模型、微机电主体的结构、行为
2009-05-25 21:40
