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微机电系统（MEMS）
2021-01-09 10:18
微机电源 从IBM推出第一台PC至今，微机电
2009-12-17 16:54
微机电系统的发展及其应用微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪的高新科技. 介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容,综述了
2009-03-17 15:29
微机电系统（MEMS）是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，
2009-05-25 09:34
微机电系统（MEMS）是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，
2009-11-23 13:32
微机电系统是微米大小的机械系统，其中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统。这些系统的大小一般在微米到毫米之间。在这个大小范围中日常的物理经验往往不适用。
2019-09-17 09:11
基础微机电麦克风
2017-10-25 08:48
微机电系统的发展及其应用:微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪的高新科技. 介绍了微机电系统产生的背景影响、组成
2009-12-29 23:45
微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪的高新科技. 介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容,综述
2009-03-11 17:16
微机电系统是一个新兴的技术领域. 阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.[关键词] 微机电系统;微机械;微传感器;微细加工技术
2009-06-20 10:59
