MEMS微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器(执行器)和微能源三大部分组成。
2011-09-13 17:28
微机电系统技术统有多种原材料和制造技术，选择条件是系统的应用、市场等等。
2011-09-13 17:39
2011年11月ADI高校讲座系列-MEMS(微机电系统): 第三部分
2019-08-06 06:18
DIGITIMES Research指出，微机电系统(MEMS)惯性组件应用已起飞，目前尤以手机中的应用最被全球业者所看好，故业者将
2010-11-23 09:14
什么是射频微机电系统开关？ 射频微机电系统 （RF MEMS） 开关是低功耗小型微机械开关，可以使用传统的MEMS制造技
2022-05-12 17:19
微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
2011-09-13 17:33
微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
2011-09-13 17:36
微机电系统采用的是梳状驱动式致动器。要理解其工作原理，可以设想两个梳齿间隔很大的梳子，它们面对面摆放，梳齿交错。
2024-04-28 11:18
摘要 MEMS已被认为是最有前途的技术之一。在21世纪，它具有革命性的工业和结合以硅为基础的微电子产品微加工技术。它的技术和微系统电子设备有可能极大地影响我们的生活。本文介绍了微机电系统文章全部详情
2023-04-24 09:21
。微机电系统（Micro- Electro - Mechanical System, MEMS)是指将微电子器件、微结构与微机械组件（微传感器、微执行器）集于一体的集成系统
2023-11-14 09:25
