来源：Simon 半导体芯科技 微机电系统或称MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)，是用微加工技术制造的小型化机械电子器件（即设备和结构）。MEMS的物理
2022-03-04 18:49
微机电系统技术统有多种原材料和制造技术，选择条件是系统的应用、市场等等。
2011-09-13 17:39
微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展
2011-09-13 17:33
微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展
2011-09-13 17:36
MEMS微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器(执行器)和微能源三大部分组成。
2011-09-13 17:28
、无法使用连续滚压的Roll to Roll方式量产、制作结构复杂时可能出现累积误差的现象等等，而这些问题也成为未来要强化MEMS在显示应用上的发展时，所必须克服的挑战。 投影机为MEMS显示应用典范 由于奈米技术的跃升，微机电
2018-11-22 18:09
2011年11月ADI高校讲座系列-MEMS(微机电系统): 第三部分
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DIGITIMES Research指出，微机电系统(MEMS)惯性组件应用已起飞，目前尤以手机中的应用最被全球业者所看好，故业者将
2010-11-23 09:14
微机电源 从IBM推出第一台PC至今，微机电
2009-12-17 16:54
