微机电系统的发展及其应用微机电系统是在微电子技术基础上产生和
2009-03-17 15:29
微机电系统的发展及其应用:微机电系统是在微电子技术基础上产生和
2009-12-29 23:45
微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪的高新科技. 介绍了微机电系统
2009-03-11 17:16
微机电系统是一个新兴的技术领域. 阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和
2009-06-20 10:59
微机电系统（MEMS）是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与
2009-05-25 09:34
微机电系统（MEMS）是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与
2009-11-23 13:32
微机电系统（MEMS）
2021-01-09 10:18
介绍了微机电系统的基本原理及其在空间应用的发展概况, 着重介绍了空间微传感器、微执行器、RF2M EM S、MO EM S、微仪器和微ö纳卫星的研究与进展情况
2009-07-15 08:48
微机电系统是微米大小的机械系统，其中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统。这些系统的大小一般在微米到毫米之间。在这个大
2019-09-17 09:11
基于压力发电的远程微机电电源系统
2021-07-05 11:37
