微机电系统的发展及其应用微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪的高
2009-03-17 15:29
微机电系统的发展及其应用:微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪的
2009-12-29 23:45
微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪的高新科技. 介绍了微机电系统
2009-03-11 17:16
微机电系统是微米大小的机械系统，其中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统。这些系统的大小一般在微米到毫米之间。在这个大
2019-09-17 09:11
微机电系统（MEMS）
2021-01-09 10:18
微机电系统（MEMS）是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，
2009-05-25 09:34
微机电系统（MEMS）是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，
2009-11-23 13:32
微机电系统技术统有多种原材料和制造技术，选择条件是系统的应用、市场等等。
2011-09-13 17:39
MEMS微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器(执行器)和微能源三大部分组成。
2011-09-13 17:28
微机电系统是一个新兴的技术领域. 阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.[关键词] 微机电
2009-06-20 10:59
