微机电系统技术统有多种原材料和制造技术，选择条件是系统的应用、市场等等。
2011-09-13 17:39
MEMS微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器(执行器)和微能源三大部分组成。
2011-09-13 17:28
2011年11月ADI高校讲座系列-MEMS(微机电系统): 第三部分
2019-08-06 06:18
微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工
2011-09-13 17:33
微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工
2011-09-13 17:36
DIGITIMES Research指出，微机电系统(MEMS)惯性组件应用已起飞，目前尤以手机中的应用最被全球业者所看好，故业者将
2010-11-23 09:14
摘要 MEMS已被认为是最有前途的技术之一。在21世纪，它具有革命性的工业和结合以硅为基础的微电子产品微加工技术。它的技术和微系
2023-04-24 09:21
。微机电系统（Micro- Electro - Mechanical System, MEMS)是指将微电子器件、微结构与微机械组件（微传感器、微执行器）集于一体的集成
2023-11-14 09:25
来源：Simon 半导体芯科技 微机电系统或称MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)，是用微加工技术制造的小型化机械电子器件（即
2022-03-04 18:49
MEMS（微机电系统）元件的失效机制从本质上讲和与之相对应的宏观（肉眼可见）元件，具有很大差别并且是独特的。本文讨论从各种MEMS元件中观测到的失效机制。需要强调的是，
2021-12-13 09:37
