微机电系统是一个新兴的技术领域. 阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其
2009-06-20 10:59
微机电系统的发展及其应用微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多
2009-03-17 15:29
微机电系统（MEMS）
2021-01-09 10:18
微机电系统的发展及其应用:微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的
2009-12-29 23:45
什么是MEMS？MEMS = Micro-Electro-Mechanical System, 是用半导体技术，在半导体材料上刻蚀出来的微机械结构。下图左边是
2019-09-12 09:05
微机电系统技术统有多种原材料和制造技术，选择条件是系统的应用、市场等等。
2011-09-13 17:39
MEMS微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器(执行器)和微能源三大部分组成。
2011-09-13 17:28
2011年11月ADI高校讲座系列-MEMS(微机电系统): 第三部分
2019-08-06 06:18
微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工
2011-09-13 17:02
微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工
2011-09-13 17:33
