一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台，介绍电容式惯性
2009-11-16 16:59
、性能和发展方向。 ２微传感器研究的现状与发展方向 ２．１微机械压力传感器 微机械压力传感器是最早开始研制的
2018-10-30 16:04
对微机械惯性传感器微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述，根据其不同的技术实现，诸如制造过程工作原理，控制系统，接口技术等对其进行了分类描述，这些微传感器的
2010-08-17 17:13
本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理，叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理，给出了石英音叉传感器的加工方法，提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结
2009-06-23 09:05
微机械式惯性传感器已经成为许多消费产品的一个组成部分，比如手持式移动终端、照相机和游戏控制器等。此外，微机械式
2020-04-23 07:47
微机电系统（MEMS） 惯性传感器的设计在本质上对运动非常敏感，可有效检测和处理线性加速、磁航向、海拔和角速率信息。为充分利用惯
2017-10-23 17:28
微机械生化传感器: 自从Clark 和Lyons 在1962 年研制出第一个生物传感器以来,探测各种生物和化学分子的生化传感器相继问世. 这类
2009-06-02 17:37
在技术应用中测量倾斜度，加速度和振动需要高精度的惯性传感器：MEMS（微型机电系统）系列传感器采用单晶硅传感器元件，融合最先进的
2020-07-07 09:36
电系统（MEMS）惯性传感器的设计在本质上对运动非常敏感，可有效检测和处理线性加速、磁航向、海拔和角速率信息。为充分利用惯性传感
2018-11-12 15:38
麦姆斯咨询：高精度惯性传感器主要用于测量倾角、加速度和振动等。惯性传感器作为MEMS器件，以单晶硅传感器元件为基础，采用
2019-01-29 16:35
