在半导体器件的制造过程中,由于需要去除被称为硅晶片的硅衬底上纳米级的异物(颗粒),1/3的制造过程被称为清洗过程。在半导体器件中,通常进行RCA清洁,其中半导体器件以一
2022-04-20 16:10
在本节中,我们将逐一阐述半导体发展的历史性产品和世界主流半导体制程的代际演进过程。从半导体主要制造阶段所需主要材料的准备开始,到最终的产品封装阶段,我们将沿着主流的半导体
2023-09-22 10:35
本文中,为了在半导体制造中的平坦化工艺,特别是在形成布线层的工程中实现CMP后的高清洁面,关于湿法清洗所要求的功能和课题,关于适用新一代布线材料时所担心的以降低腐蚀及表面粗糙度为焦点的清洗技术,介绍了至今为止的成果和
2022-04-20 16:11
机器视觉在半导体工业上的应用很早就开始了,在半导体工业大规模集成电路日益普及的带动下,行业内对产量的要求和质量的苛求日益剧增。在需要减少生产力成本的前提下,机器视觉技术
2019-03-29 17:04