本文介绍了用来提高光刻机分辨率的浸润式光刻技术。 芯片制造：光刻技术的演进 过去半个多世纪，摩尔定律一直推动着半导体
2024-11-24 11:04
调试。此外，这款 ASML XT 1900 Gi 型 ArF 浸入式光刻机可用于研发最高分辨率达 28nm 的高端光刻胶
2021-01-20 16:34
坚持开发并扩展自己的光刻机业务。 尼康 尼康的光刻机产品阵容比较全面，包括ArF浸没
2022-11-24 01:57
据韩媒报道称，ASML正积极投资研发下一代EUV光刻机，与现有光刻机相比，二代EUV光刻机最大的变化就是High NA透镜，通过提升透镜规格使得新一代光刻机的微缩
2019-08-07 11:24
厂商尼康和佳能为例，他们就仍在坚持开发并扩展自己的光刻机业务。 尼康 尼康的光刻机产品阵容比较全面，包括ArF
2022-11-24 07:10
在EUV光刻机方面，荷兰ASML（阿斯麦）公司垄断了目前的EUV光刻机，去年出货26台，创造了新纪录。据报道，ASML公司正在研发新一代EUV光刻机，预计在2022年开始出货。
2020-03-17 09:13
中芯国际接连取得突破，打破西方光刻机封锁，胜利女神在招手！在我国半导体行业内，一直存在着一个重大问题，那就是我国国产光刻机的精度仅为90nm，那么90nm精度的
2020-04-10 17:52
*1(L/S*2)高分辨率。扇出型面板级封装（FOPLP）技术为何会获得台积电、三星等代工大厂的青睐？比较传统的光刻机设备，尼康DSP-100的技术原理有何不同？能解决AI芯片生产当中的哪些痛点问题？ 针对2
2025-07-24 09:29
光刻机和euv光刻机区别是是什么呢？ duv光刻机和euv光刻机区别 1.基本上duv只能做到25nm，而euv能够做到
2022-07-10 14:53
数值孔径，是影响分辨率(R)，焦深（DOF）的重要参数，公式为： R=k1⋅λ/NA DOF=k2⋅λ/NA2 其中，λ为波长，k1,k2均为工艺因子。从公式可以看出：提高NA可以提升光刻分辨率，增大NA
2025-01-20 09:44
