进行MEMS制造的最基本需求是能够沉积1到100微米之间的材料薄膜。NEMS的制造过程是基本一致的，膜沉积的测量范围从几纳米到一微米。
2022-10-11 09:12
2015年开始，以集成微系统任务需求为牵引，通过问题定位、技术分解，确立了基于PZT材料的MEMS微执行器研究，目前取得的研究进展包括以下几个方面：压电 MEMS 多自由度微振动台技术、MEMS惯性传感器自标定技术、
2018-09-05 15:49
高速的光网络使世界各地的人们得以即时交流和分享想法。微小的MEMS光开关在这些数量庞大的光纤系统中发挥着重要作用。此类开关涉及机械、光学和电气三个领域，因而是适宜作为利用Tanner EDA工具进行MEMS设计和仿真
2018-05-29 14:43
MEMS是一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研发领域，相对于传统的机械，它们的尺寸更小，最大的不超过一个厘米，甚至仅仅为几个微米，其厚度就更加微小。采用以硅为主的材料，采用与集成电路（IC
2018-08-07 11:02
硬件，尤其是MEMS传感器，仍将会是终端装置中不可或缺的部份，但展望未来，软件在为用户带来价值方面也扮演同样重要的角色。
2020-07-21 10:51
微机电系统是按照功能在芯片上的集成，尺寸一般是在毫米以下，制作工艺更加精密，需要更高的技术，微机电系统早在国外就有应用，我国起步晚，在MEMS方面的投入逐渐增大，所占市场股份越来越大。微机电系统的出现和发展是现代科学创新思维的结果，也是微观尺度制造技术方面的进化和革命。
2018-04-26 15:58
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。
2018-08-08 10:57
MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本文将会一一解答。
2016-11-01 10:46
即便您要重新设计传动电机的MEMS传感器，目标也是让工作尽可能轻松快捷地完成。利用Tanner L-Edit中的MEMS库，您可以从大量MEMS器件不同的基本单元中进行
2018-05-09 14:48
MEMS技术是目前很多厂家都在使用的先进技术之一，在前两篇文章中，小编对MEMS存储设备请求调度算法以及MEMS存储设备的故障管理有所介绍。为增进大家对MEMS的了解，
2021-02-13 17:29
