来源：半导体行业观察，谢谢 编辑：感知芯视界 Link 半导体与微机电系统（MEMS）集成是指将MEMS器件与集成电路（IC）集成在单个芯片上，从而缩小封装/减少重量和尺寸，提高性能，并降低仪器
2023-11-24 09:19
利用 MEMS 进行导航
2024-05-17 06:17
微机电系统 (MEMS) 将很快成为智能系统设计和构造不可或缺的部分。这些器件缩短了物理世界和电子世界之间的差距，它们用于众多应用，涉及各种细分市场。在众多细分市场中，价格降低、准确度要求提高和快速面市需求将对设计和制造性能提出新的约束条件。企业要获得成功必须找到新的方法来应对这些挑战。
2019-10-17 07:11
进行MEMS制造的最基本需求是能够沉积1到100微米之间的材料薄膜。NEMS的制造过程是基本一致的，膜沉积的测量范围从几纳米到一微米。
2022-10-11 09:12
2015年开始，以集成微系统任务需求为牵引，通过问题定位、技术分解，确立了基于PZT材料的MEMS微执行器研究，目前取得的研究进展包括以下几个方面：压电 MEMS 多自由度微振动台技术、MEMS惯性传感器自标定技术、
2018-09-05 15:49
从驱动方式和机械结构的角度介绍了不同的RF MEMS开关类型，分析了各类MEMS开关的性能及优缺点，分析了MEMS开关在制作和发展中面临的牺牲层技术、封装技术、可靠性问题等关键技术和问题，介绍了
2023-05-23 14:29
MEMS交换,MEMS交换原理是什么? 采用微电子机械技术（MEMS）的光交换。这种光交换的结构实质上是一个二维易镜片阵，当进行光交换时
2010-03-20 11:03
据麦姆斯咨询报道，近期，来自南京理工大学的研究人员于《新型工业化》期刊发表综述文章，总结了体微加工技术和表面微加工常用的MEMS加工工艺的原理、加工方法及应用，并基于目前的加工技术与应用现状对MEMS加工工艺的未来发展进行
2022-11-30 09:19
各角度的进行控制拍摄，15分钟左右完成整个胃部检查，之后自然排出体外。 图为重庆金山科技有限公司生产的胶囊胃镜胶囊胃镜内部结构胶囊胃镜的工作过程2、人体芯片图为可植入人体芯片3、MEMS隐形眼镜图为
2018-10-15 10:47
等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室
2020-05-12 17:27
