关于光刻工艺的原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上,然后通过刻蚀技术把电路“画”在晶圆上。 当然
2020-07-07 14:22
美国媒体7月19日报道,美国政府正在努力阻止荷兰ASML EUV光刻机(极紫外光刻机)进入中国大陆。 报道称,中国政府此前与荷兰政府协商,要求允许中国公司购买ASML生产的EUV
2021-07-21 16:52
美国华尔街日报7月19日报道,美国政府正在努力阻止荷兰ASML EUV光刻机(极紫外光刻机)进入中国大陆。 华尔街日报报道称,中国政府此前与荷兰政府协商,要求允许中国公司购买ASML生产的EUV
2021-07-25 17:35
目前,还有ASML有能力生产最先进的EUV光刻机,三星、台积电都是ASML的客户。但受《瓦森纳协定》的制约,中国大陆没有从ASML买来一台EUV光刻机。
2021-01-21 08:56
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
。媒体称,台积电采购的EUV光刻机已经超过30台,三星累计采购的EUV光刻机不到20台。 围绕芯片制造要用到的关键设备光刻机,一直不缺话题。 比如,一台EUV光刻机卖多
2020-10-19 12:02
光刻机,是现代光学工业之花,是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位,光刻机,是制造芯片的机器,要是没有了光刻机,我们就没有
2021-07-07 14:31
光刻机是芯片制造中光刻环节的核心设备, 技术含量、价值含量极高。 光刻机涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术,是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备,因此也具备极高的单台价
2018-04-10 10:19