2021年试产，2022年下半年量产。6月1日，荷兰ASML公司近日在官网宣布，完成了用于5nm及更先进工艺的第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测试。
2020-06-02 09:42
随着制程工艺不断提升，晶圆的制造也越来越复杂，这也会导致晶圆中的错误更多，HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技术的检测系统，内部也有复杂的光电子系统，能够产生、控制多个电子束，然后
2020-06-01 14:25
6月1日消息 荷兰ASML公司近日在官网宣布，完成了用于5nm及更先进工艺的第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测试。
2020-06-02 09:44
摘要：模拟光束的传播通常需要多模输入光束。在这这篇文章中我们来解释如何产生这样的输入与随机相位和振幅剖面。当对光束在多模
2020-12-25 05:10
ASML宣布其在多光束检测工具系列上已取得重大突破。新的eScan1000将单光束扫描进程优化成9光束扫描进程，ASML
2020-09-22 17:49
调频光束接收机 该
2009-09-18 17:42
光束检测非法闯入的报警器 当照到CDS
2009-09-04 16:21
调频光束发射机 该
2009-09-18 17:52
不同分辨率的光栅以及多光束的光栅，K和C的值或算法也会不同。
2020-07-18 09:21
为什么户外光束检测需要专门的检测仪？ 传统的光束质量分析仪质量大，工作温度区间有限，仅能在实验室范围内使用，很难在户外、低温等环境中实现较高精度的
2021-06-29 10:45
