每个宽带场强传感器在其频率范围内都会有一定的频率响应。如果不校正,这将导致额外的测量偏差(误差)。在对各向同性场传感器进行认证校准过程中,会确定此误差,并将作为分别 X、Y 和 Z 轴的频率响应校正因子给出。
2022-05-18 17:24
湿法刻蚀也称腐蚀。硅的湿法刻蚀是 MEMS 加工中常用的技术。其中,各向同性 (Isotropic)湿法刻蚀常用的腐蚀剂是由氢氟酸(HF)、硝酸( HNO3)和乙酸(CH3COOH)组成的混合物(也
2022-10-08 09:16
通过使用各向同性和各向异性工艺,可以高精度地创建由硅湿法蚀刻产生的微观结构。各向同性蚀刻速度更快,但可能会在掩模下蚀刻以形成圆形。可以更精确地控制各向异性蚀刻,并且可以
2022-03-09 16:48
在机器人轻柔地托起一枚生鸡蛋,手术刀精准游走于神经与血管之间,火箭发动机在万米高空完成姿态微调的场景中,一种名为"六维力传感器"的精密仪器正扮演着"触觉神经"的角色。这
2025-04-20 17:54
、Z轴的力与力矩)。如果传感器只能测量三个维度的力或力矩,那么它就三维
2023-06-29 14:33