非光刻图案化方法可以从图案设计的自由度上分为三大类,第一类能够自由形成任意图案,主要包括扫描探针刻印(SPL)和喷墨打印;第二类需要在模板或预图案化基材的辅助下形成复杂
2023-06-21 15:49
为履行向市场提供更环保的产品的使命,TDK矢志创新并开发了一种能在薄膜上印刷厚铜图案的电镀工艺。该工艺能让铜沉积在薄膜的一侧或两侧,可降低线圈(天线)的直流电阻 (DCR)。这一创新成果是TDK结合
2025-02-12 14:43
在芯片制造中,光刻技术在硅片上刻出纳米级的电路图案。然而,当制程进入7纳米以下,传统光刻的分辨率已逼近物理极限。这时, 自对准双重图案化(SADP) 的技术登上舞台, 氧化物间隔层切割掩膜 ,确保数十亿晶体管的精确成型。
2025-05-28 16:45
仔细研究待分析的物体有助干确定适当的系统设计。 机器视觉系统具有极大的吸引力,因为它能避免重复的测量,同时又能提高产量,增加响应时间。
2023-05-23 15:16
图案化工艺包括曝光(Exposure)、显影(Develope)、刻蚀(Etching)和离子注入等流程。其中,刻蚀工艺是光刻(Photo)工艺的下一步,用于去除光刻胶(Photo Resist
2023-06-26 09:20
精确地用光致抗蚀剂图案化,并且能够承受图案被转移到Pt中,然后去除Cr掩模,只需要标准化学品和洁净室设备/工具,在王水蚀刻之前,铂上的任何表面钝化都需要去除,这通常通过在稀氢氟酸(HF)中快速浸泡来实现
2022-05-30 15:29
套刻计量(Overlay metrology)工具可提高精度,同时提供可接受的吞吐量,解决日益复杂的设备中的竞争要求。
2023-07-10 11:27
我们介绍了在氢氧化钾溶液中蚀刻的车轮图案和宽分离的V形槽的硅蚀刻速率测量。数据表明,当使用货车轮图案时,存在反应物耗尽效应,这掩盖了真实的表面反应速率限制的蚀刻速率。与以前的报道相反,从受反应物传输
2022-05-11 16:30