，光源是ArF（氟化氩）准分子激光器，从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机，但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻
2020-07-07 14:22
高技术装备的使用，光刻机就是发展国产芯片的核心技术装备，国内有家公司将使用最先进的光刻机装备，钻研7nm制程的芯片制造。
2018-10-05 08:16
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造，光刻机作为集成电路制造中最关键的设备，对芯片制作工艺有着决定性的影响，被誉为“超精密制
2021-07-29 09:36
据国外媒体报道，在芯片的制造过程中，光刻机是必不可少的设备，在芯片工艺提升到7nm EUV、5nm之后，极紫外光刻机也就
2020-03-07 14:39
简单的例子，我们在拍照的时候，时而追求所谓的背景虚化效果。这种虚化效果可以突显拍摄主体，使得照片更有质感。这种在对焦点前后相对清晰的影像范围，我们称之为景深。而镜头（光圈）愈大，景深愈浅。 光刻机
2020-09-02 17:38
作为近乎垄断的光刻机巨头，ASML的EUV光刻机已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星，EUV光刻机的购置已经是生产支出中很大的一笔，也成了7nm
2021-12-01 10:07
7nm之下不可或缺的制造设备，我国因为贸易条约被迟迟卡住不放行的也是一台EUV光刻机。 但EUV光刻机的面世靠的不仅仅是ASML一家的努力，还有蔡司和TRUMPF（通快
2021-12-07 14:01
，中国最好的光刻机厂商上海微电子装备有限公司（SMEE）已经量产的光刻机中，性能最好的SSA600/20工艺只能达到90nm，相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。而国外的先进水平已经达到了
2020-03-18 10:52
大家都知道，目前我国光刻机技术至少落后荷兰ASML15年，目前荷兰ASML的顶级光刻机可以达到7nm工艺，目前他们正大研发5nm工艺
2020-04-19 23:43
自从芯片工艺进入到7nm工艺时代以后，需要用到一台顶尖的EUV光刻机设备，才可以制造7nm EUV、5nm等先进制程工艺
2020-12-03 13:46
