敏芯股份称，MEMS芯片的制造工艺和集成电路芯片完全不同，且一种MEMS芯片
2020-05-30 11:08
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺
2016-12-09 17:46
，；应用最多的属于振动陀螺仪，通常，它与低加速度计一起构成主动控制系统。MEMS传感器的广泛应用，强烈需要研究出高精密汽车传感器焊接工艺。 汽车MEMS传感器芯片多以单
2022-10-18 18:28
赞助商广告展示 原文标题：MEMS芯片制造工艺流程详解 文章出处：【微信公众号：今日半导体】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。 审核编辑：彭静
2022-07-11 16:20
国产MEMS电容式气压传感器的应用有哪些？
2022-03-03 10:08
中国芯片制造龙头中芯国际公布的业绩显示14nmFinFET工艺正式贡献营收，分析认为这代表着国产芯片龙头企业华为海思已在中芯国际投产，随着华为海思的
2020-02-20 20:24
本文重点描述运用MEMS微机械加工工艺技术设计、加工、生产胎压传感器IC芯片，希望对大家学习MEMS有所帮助
2012-12-11 14:17
表面硅MEMS加工技术是在集成电路平面工艺基础上发展起来的一种MEMS工艺技术，它利用硅平面上不同材料的顺序淀积和选择腐蚀来形成各种微结构。什么是表面硅
2018-11-05 15:42
而mems即微机电系统,是一门新兴学科和领域,跟ic有很大的关联,当然mems工艺也和cmos工艺会有很大的相似之处,现在的发展方向应该是把二者集成到一套的
2018-07-13 14:40
