,所以光刻机就选择了改变光源,用13.5nm波长的EUV取代193nm的DUV光源,这样也能大幅提升光刻机的分辨率。 在上世纪
2020-07-07 14:22
的要求则反过来,我们要确保影像要绝对清晰,就要将对焦点落在光阻上,并且确保光阻绝对不可落到景深范围之外。那ASML的光刻机景深有多大呢? 所以我们就是要把光阻移到这个100nm的范围之内,是不是有点
2020-09-02 17:38
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯国际的公报,目...
2021-07-29 09:36
[td]如题,求smic 90nm 的PDK,用于本科毕设学习,邮箱zbdzjm@163.本来想设定10000,谁知道悬赏价格论坛限定在2000了,咋破?
2021-06-21 07:21
`维基百科(Wikipedia),是一个基于维基技术的多语言百科全书协作计划,这是一部用多种语言编写的网络百科全书。.维基百科一字取自于本网站核心技术“Wiki”以及具
2016-12-08 17:30
模电资料三节课福利大放送,详情可添加管理员微信免费领取:***。另有6部模电+2部EMC教程正在众筹,详情戳:http://z.elecfans.com/273.html?elecfans_trackid=zx_lt。电子电路百科全书 电子电路百科全书.rar
2009-09-25 16:11
%,Lam Research为10亿美元,占台积电采购额的9%,迪恩士占5%,KLA占4%。ASML目前,全球仅有ASML一家公司掌握着EUV光刻机的核心技术,这也是5nm制程必需的设备,但EUV
2020-03-09 10:13
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造,结果会怎样?
2020-06-10 19:23
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步,对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关,电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长,而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03
电子电路百科全书
2015-03-06 18:30