,光源是ArF(氟化氩)准分子激光器,从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机,但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻的极限,所以Intel、三星和台积电都会在7nm这个节点引入极
2020-07-07 14:22
【作者】:吕鹏;刘春芳;张潮海;赵永蓬;王骐;贾兴;【来源】:《强激光与粒子束》2010年02期【摘要】:描述了Z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源,给出了主电路拓扑结构,重点介绍了三级磁
2010-04-22 11:41
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38
据羊城晚报报道,近日中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机,顺利通过深圳出口加工区场站两道闸口进入厂区,中芯国际发表公告称该光刻机并非此前盛传的EUV光刻机,主要用于企业复工复产后的生产线扩容。我们知道
2021-07-29 09:36
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步,对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关,电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长,而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03
紫外光通信系统是一种新型的通信手段,与常规的通信系统相比,有很多优势。由于紫外线主要以散射方式传播,并且传播路径有限,采用紫外光通信系统具有一定的绕过障碍物的能力,非常适用于近距离抗干扰的通信环境
2019-06-18 08:00
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造,结果会怎样?
2020-06-10 19:23
本文介绍了一种基于AMBE-2000的紫外光语音系统设计。实验证明,紫外光语音通信系统具有低窃听率、低位辨率、全方位、高抗干扰能力、音质优、功耗低等特点。
2021-03-31 06:04
单片机解密IC芯片破解用紫外光有问题会出现呢?在单片机解密IC芯片破解的过程中,有时要用到紫外光技术。但使用不当会容易产生问题。深圳爱体半导体有限公司为你简单罗列一些
2017-03-20 17:23
是分步投影光刻机.利用分步投影光刻机,再结合移相掩膜等技术,已经得到了最小线宽0.10微米的图形。 ◆接近式暴光与接触式暴光相似,只是在暴光时硅片和掩膜版之间保留有很小的间隙,这个间隙一般在10~25
2012-01-12 10:56