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  • 193 nm ArF浸没式光刻技术和EUV光刻技术

    翁寿松(无锡市罗特电子有限公司,江苏无锡214001)1 32 nm/22 nm工艺进展2006年1月英特尔推出全球首款45 nm全功能153 Mb SRAM芯片。英特尔将投资90亿美元在以下4座45 nm、300 mm晶圆厂量产45 nm MPU:(1)美国俄勒冈州Fab PID厂,2007年下半年量产;(2)美国亚利桑那州Fab 32厂,投资30亿美元,2007年末量产;(3)以色列Fab 28厂,投资35亿美元,2008年上半年量产;(4)美国新墨西哥州RioRancho Fab 11X厂,投资10~15亿美元,从90 nm过渡至45 nm,它是英特尔产首座300 mm晶圆厂,也是英特尔首座全自动化300 mm晶圆高量产厂。45 nm芯片的即将量产意味着32 nm/22 nm工艺将提到议事日程上,英特尔将于2009年推出32nmMPU,2011年推出22 nm MPU。IBM与特许将在IBM纽约州East Fishkill 300 mm晶圆厂内联合开发32 nm bulk CMOS工艺。2007年2月美光推出25 nm NAND闪存,3年后量产25 nm闪存。目前32 nm/22 nm工艺尚处于研发阶段。

    2019-07-01 07:22

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    有禁运的指示,那么,到底禁运不禁运?这个问题得这么看:ASML每年光刻机的产量只有不多的几十台,每台卖一亿多美元,只能优先供应它的主要股东,对,就那三个最先进的IC厂家:三星、台积电、英特尔,中国企业

    2018-06-13 14:40

  • 集成电路自主研发的关键:国产EDA软件的突破?

    的需求。 如果国内的EDA企业不太愿意共享知识,担心企业机密外泄,而不愿意派出指导教师,该怎么办?不用担心这个问题,国内总有些企业是愿意为国产EDA的大局做贡献的。2.

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    2017-11-25 14:30

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    2024-05-26 20:20

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    光刻胶也称为光致抗蚀剂,是一种光敏材料,它受到光照后特性会发生改变。光刻胶主要用来将光刻掩膜版上的图形转移到晶圆片上。光刻胶有正胶和负胶之分。正胶经过曝光后,受到光照的

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    依旧没有让国内厂商得到喘息。豺狼虎豹亡我之心不死,实属歹毒至极,臭不要脸。虽然目前只针对头部高新技术企业进行封锁,但此事已成国内技术发展的达摩利斯之剑,令受人爱戴的企业家们惶惶不可终日。很久之前,国产

    2023-03-07 16:06

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    `微软近日宣布与戴尔达成一项合作协议,从下个月起,企业客户可以通过戴尔的企业销售部门购买Surface Pro平板电脑和Surface配件。这是微软与惠普、埃森哲等公司合作

    2017-06-23 14:44

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    2022-02-25 10:24