影响深硅刻蚀的关键参数有:气体流量、上电极功率、下电极功率、腔体压力和冷却器。
2024-02-25 10:44
三位四通阀常用的滑阀机能 型式 符号 中位油口状况、特点及应用
2009-10-25 15:02
深圳市深成科技有限公司电池自动分选机多型号电芯通用分选实现?
2022-05-24 11:41
深反应离子刻蚀工艺,是实现高深宽比特性的重要方式,已成为微加工技术的基石。这项刻蚀技术在众多领域均得到了应用:1)MEMS电容式惯性传感器;2) 宏观设备的微型化;3) 三维集成电路堆叠技术的硅通孔工艺。
2020-10-09 14:17
本文开始介绍了什么是电弧和电弧的组成部分。其次介绍了电弧的分类,最后阐述了电弧发生的条件及分析了电弧打火机能否电死人。
2018-02-06 09:36
近日,深睿医疗公司发布了Dr.WiseTM深睿医生四大品类六款AI产品,分别是Dr.WiseTM癌症早期筛查AI系统,Dr.WiseTM脑卒中AI检测分析系统,深睿智能
2018-11-13 16:31
对于此次分拆上市,多氟多对公司及子公司业务运营展望明确,认为这将有助于激活中宁硅业高纯硅烷、四氟化硅等特种气体业务线,并拓宽其融资途径。但同时强调,此次分拆上市不会导致
2024-01-24 13:50
深孔加工是机械加工中的难点,也是当今加工的热点。目前随着复杂的深孔加工要求变得越来多,既要高精度又要高效率,那么熟练掌握各种深孔钻的加工性能和适用范围就显得至关重要。
2023-10-30 16:29
全硅管四管机原理图
2008-07-04 15:02
在使用低温卡盘的低压高密度等离子体反应器中研究了硅结构的深且窄的各向异性蚀刻。我们华林科纳以前已经证明了这种技术在这种结构上的可行性。已经研究了蚀刻速率和轮廓的改进,并且新的结果显示,在5 μm
2022-05-11 15:46