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上两期介绍了粗糙度的概念、设备，也着重说明了白光干涉原理在粗糙度的应用优势，而目前半导体、3C制造、材料、精密加工等领域，除了粗糙度，还会涉及到台阶高度测量，微观领域的台阶从几个纳米到几百微米不等

2023-04-07 09:14 优可测 企业号

上两期介绍了粗糙度的概念、设备，也着重说明了白光干涉原理在粗糙度的应用优势， 而目前半导体、3C制造、材料、精密加工等领域， 除了粗糙度，还会涉及到台阶高度测量，微观领域的台阶从几个纳米到几百微米

2023-05-11 18:53

晶圆在加工过程中的形貌及关键尺寸对器件的性能有着重要的影响，而形貌和关键尺寸测量如表面粗糙度、台阶高度、应力及线宽测量等就成为加工前后的步骤。以下总结了从宏观到微观的不同表面测量方法：单种测量手段

2023-11-02 11:21 中图仪器 企业号

台阶高度作为纳米结构的关键参数，其测量精度直接影响相关研究与应用。本文利用触针式轮廓仪对三台阶高度样品进行测量与表征的方法。原始测量数据通过多项式拟合与低通滤波处理消除

2025-07-22 09:52 Flexfilm 企业号

在半导体芯片制造过程中，台阶结构的精确测量至关重要，通常采用白光干涉仪或步进仪等非接触式测量设备进行监控。然而，SiO₂/Si台阶高度标准在测量中存在的问题显著影响了测量精度。传统标准的上表

2025-07-22 09:53 Flexfilm 企业号

台阶仪分辨率越高，就能够分辨出更小的表面形貌差异，得到更精确的测量结果。在半导体制造、纳米技术、生物医学等领域，精确测量材料表面的微观台阶高度对于产品质量控制和生产效率至关重要。通过使用高分辨率的

2023-12-15 10:56 中图仪器 企业号

SuperView W1白光干涉仪采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统。

2021-11-01 10:27 中图仪器 企业号

。 一、超精细粗糙度测量 （例1）玻璃镜片 0.05nm 粗糙度测量 · 优可测白光干涉仪 NA-500拍摄 二、台阶高度 （例2）掩模版台阶高度测量· 优可测 白光干

2023-05-11 18:49

粗糙度测量（例1）玻璃镜片0.05nm粗糙度测量·优可测白光干涉仪NA-500拍摄二、台阶高度（例2）掩模版台阶高度测量·优可测白光干涉仪EX-230拍摄三、形貌

2023-04-07 09:13 优可测 企业号

据悉，Atlas内置的控制软件（control software）利用包括机器人腿、胳膊和躯干在内的整个身体，在不中断步伐的情况下，调动跨越原木和跨上台阶（台阶高度40 cm）的能量和力量；Atlas使用计算机视觉对

2018-10-15 16:17