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型号:NS系列 品牌:中图仪器
NS系列探针式接触台阶高度仪单拱龙门式设计,结构稳定性好,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响,提高了测量精度。线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达
2025-03-20 16:00 中图仪器 企业号
中图仪器NS系列纳米级台阶高度仪线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。主要用于
2024-12-31 14:41 中图仪器 企业号
上两期介绍了粗糙度的概念、设备,也着重说明了白光干涉原理在粗糙度的应用优势,而目前半导体、3C制造、材料、精密加工等领域,除了粗糙度,还会涉及到台阶高度测量,微观领域的台阶从几个纳米到几百微米不等
2023-04-07 09:14 优可测 企业号
上两期介绍了粗糙度的概念、设备,也着重说明了白光干涉原理在粗糙度的应用优势, 而目前半导体、3C制造、材料、精密加工等领域, 除了粗糙度,还会涉及到台阶高度测量,微观领域的台阶从几个纳米到几百微米
2023-05-11 18:53
中图仪器NS系列材料台阶高度测量仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。&n
2024-10-21 11:38 中图仪器 企业号
晶圆在加工过程中的形貌及关键尺寸对器件的性能有着重要的影响,而形貌和关键尺寸测量如表面粗糙度、台阶高度、应力及线宽测量等就成为加工前后的步骤。以下总结了从宏观到微观的不同表面测量方法:单种测量手段
2023-11-02 11:21 中图仪器 企业号
中图仪器NS系列探针接触式台阶高度仪主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量,是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级
2024-07-25 14:34 中图仪器 企业号
中图仪器NS系列软膜材料台阶高度蚀刻速率测定仪利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各
2024-10-25 16:50 中图仪器 企业号
2023-11-03 09:21 中图仪器 企业号
型号:NS200 品牌:中图仪器
中图仪器NS系列半导体台阶高度测量仪器是一款专为高精度微观形貌测量设计的超精密接触式仪器,广泛应用于半导体、光伏、MEMS、光学加工等领域。通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作,结合亚埃级
2025-03-31 15:08 中图仪器 企业号