,光源是ArF(氟化氩)准分子激光器,从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机,但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻的极限,所以Intel、三星和
2020-07-07 14:22
由于三星去年就小规模投产了7nm EUV,同时ASML(荷兰阿斯麦)将EUV光刻机的年出货量从18台提升到今年的预计30台
2019-04-30 17:30
据中国台湾经济日报报道,EUV 光刻机制造商 ASML 首席执行官 Peter Wennink 带领高管拜访三星,双方寻求技术与投资合作。三星希望能抢在台积电之前,取得
2020-12-02 11:16
日前,在台积电召开的会议上,有一名高管称台积电将于2024年引进ASML
2022-06-17 16:33
如今全球芯片短缺,不仅仅已经严重营销到了科技数码产业,就连汽车产业也深受其害。 为了满足2021年的需求激增,目前有国外媒体称台积电一口气向荷兰ASML下达了18
2021-01-27 09:56
近日中科院白院长就宣布,中科院开始了研发光刻机的计划。据说这则消息一出,围绕着光刻机产业的一些关键厂商,可以说都开始坐不住了,其中就涉及到了ASML,以及ASML的重要
2020-09-27 14:06
台积电前不久试产了7nm EUV工艺,预计明年大规模量产,三星今天宣布量产7nm EUV工艺,这意味着EUV工艺就要正式
2018-10-19 10:49
如今全球芯片短缺,不仅仅已经严重营销到了科技数码产业,就连汽车产业也深受其害。为了满足2021年的需求激增,目前有国外媒体称台积电一口气向荷兰ASML下达了18
2021-01-26 09:22
。 目前,台积电使用ASML的Twinscan NXE EUV光刻机在其N7
2020-11-17 16:03
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38