的飞机在任意时刻的飞行位置偏差不超过一个微米。如此极端的性能指标，使光刻机双工件台成为当之无愧的“精密机械之王”，其制造也成为世界级难题。 华卓
2018-10-14 11:15
，ASML也被邀请进入成为EUV LLC的一份子。在1997到2003年间，EUV LLC的几百位科学家发表了大量论文，证明了EUV光刻机的可行性，然后EUV LLC解散。 2006年全球首台EUV
2020-07-07 14:22
报告期内，华卓精科主营业务收入主要来源于光刻机双工件台、超精密测控装备整机和超精密测控装备部件三项业务。2019年，公司
2020-08-26 14:54
！光刻机本身的原理，其实和相机非常相似，同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理，是被摄物体被光线照射所反射的光线，透过相机的镜头，将影像投射并聚焦在相机的底片（感光元件）上，如此便可
2020-09-02 17:38
近日，北京证监局披露了华卓精科的第三期辅导工作报告，公司拟登陆科创板。据公司官网显示，其生产的
2019-11-20 18:52
一台高端的光刻机由上万个零部件构成，光刻机的主要核心部件主要分为两个部分：分别是对准系统和紫外光源。
2022-01-03 17:09
光刻机，是现代光学工业之花，是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位，光刻机，是制造芯片的机器，要是没有了
2021-07-07 14:31
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机，有用于LED制造领域的光刻机，还有用于封装的光刻机。
2022-02-05 16:03
目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术，EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
