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  • MEMS的含义、构成、优势、市场规模预测、产业链相关企业简介

    MEMS,(Micro-Electro Mechanical Systems),也称为微电子机械系统、微电机系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。MEMS 可分为若干个独立的功能单元,包括微结构元器件、微传感器、微执行器和微系统等。简单来说,MEMS就是将传统传感器的机械部件微型化后,通过三维堆叠技术,例如三维硅穿孔 TSV等技术把器件固定在硅晶元(wafer)上,最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式,最终切割组装而成的硅基传感器。受益于普通传感器无法企及的 IC硅片加工批量化生产带来的成本优势, MEMS同时又具备普通传感器无法具备的微型化和高集成度。

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    2018-05-15 17:25

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    2019-07-14 11:55