半导体设备用治具的清洗炉(Vacuum Bake Cleaner)●该设备用于去除附着在 MOCVD 托盘和零部件上的沉积物(GaN、AlN 等)。采用洁净气体的干式清洗法,因此不需要湿法后道处 理, 可减少托盘和零部件的损伤。●利用洁净气体进行干式清洗,减少对托盘造成的损伤,可有效去除沉积物的同时,相较于其他清洗方法损伤
2022-01-14 14:21 芯茂(嘉兴)半导体科技有限公司 企业号
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2023-08-29 17:01 北京鑫隆源科技有限公司 企业号
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2024-05-23 11:42 北京鑫隆源科技有限公司 企业号