,光源是ArF(氟化氩)准分子激光器,从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机,但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻
2020-07-07 14:22
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯国际的公报,目...
2021-07-29 09:36
`中科院拥有国内乃至国际一流的创新性研发机构和科研团队、凝聚着全球最优秀的科学家,实力雄厚。如今中科院深化在网络摄像机领域的探索,携手ithink公司震撼推出国内首款内置电池网络摄像
2015-02-05 10:09
的要求则反过来,我们要确保影像要绝对清晰,就要将对焦点落在光阻上,并且确保光阻绝对不可落到景深范围之外。那ASML的光刻机景深有多大呢? 所以我们就是要把光阻移到这个100nm的范围之内,是不是有点
2020-09-02 17:38
,购买或者开发EUV光刻机是否必要?中国应如何切实推进半导体设备产业的发展?EUV面向7nm和5nm节点所谓极紫外
2017-11-14 16:24
中科院剖析 LED怎样克服困难 LED灯具在人们的生活当中也是很常见的,它具有节能,高效,寿命长的优点,是电源行业的一个转折点,具有革命性的意义。 这是一个看似前途无量的巨大市场,然而像
2012-07-18 11:31
中科院电子技术考研真题
2011-08-07 15:04
%,Lam Research为10亿美元,占台积电采购额的9%,迪恩士占5%,KLA占4%。ASML目前,全球仅有ASML一家公司掌握着EUV光刻机的核心技术,这也是5nm制程必需的设备,但
2020-03-09 10:13
本帖最后由 江口kk 于 2014-8-11 20:26 编辑 Banana PI开源项目与中科院先研院举行开源硬件介绍交流活动LeMaker团队Banana Pi项目组日前与中国科学院深圳
2014-08-09 21:08
``如题 中科院清库房的设备 另有其他一些电子元器件。有想拿去玩玩的加微信qixiong225 论坛不常上 咸鱼链接https://2.taobao.com/item.htm?id=526428926106&spm=686.1000925.0.0.qjp7si ``
2016-02-17 16:14