在半导体器件的制造过程中，由于需要去除被称为硅晶片的硅衬底上纳米级的异物（颗粒），1/3的制造过程被称为清洗过程。在半导体器件中，通常进行RCA清洁，其中半导体器件以一
2022-04-20 16:10
本文中，为了在半导体制造中的平坦化工艺，特别是在形成布线层的工程中实现CMP后的高清洁面，关于湿法清洗所要求的功能和课题，关于适用新一代布线材料时所担心的以降低腐蚀及表面粗糙度为焦点的清洗技术，介绍了至今为止的成果和
2022-04-20 16:11
半导体（ semiconductor），指常温下导电性能介于导体（conductor）与绝缘体（insulator）之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用
2018-04-27 14:43
气相清洗设备是溶剂清洗设备，它是利用溶剂蒸气不断地蒸发和冷凝，使被清洗工件不断“出汗”并带出污染物的原理进行
2020-03-25 11:23
随着功率半导体器件的发展，半导体设备的发展也不断兴起。国家重要会议提出，到 2035 年要实现高水平科技自立自强。从半导体设备
2024-09-12 09:50
半导体设备位于整个半导体产业链的上游，在新建晶圆厂中半导体设备支出的占比普遍达到 80%。一条晶圆制造新建产线的资本支出
2020-01-21 14:29
中国政府"十三五"规划草案，经济发展目标包括半导体等先进产业及在晶片材料、机器人、航空设备和卫星的次世代领域成为世界领先，研发经费将达GDP2.5%。 那么半导体是怎么制造出来的？这里我们
2017-12-21 10:23
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。
2021-02-13 09:06
本文介绍了半导体工艺及设备中的封装工艺和设备。
2024-11-05 17:26
