静电平衡是指导体内部的电荷分布达到稳定状态,导体表面的电荷密度也达到稳定状态。在静电平衡状态下,导体内部的电势和导体表面的电势是相等的。
2024-02-26 17:14
在半导体器件的制造过程中,由于需要去除被称为硅晶片的硅衬底上纳米级的异物(颗粒),1/3的制造过程被称为清洗过程。在半导体器件中,通常进行RCA清洁,其中半导体器件以一
2022-04-20 16:10
CMP装置被应用于纳米级晶圆表面平坦化的抛光工艺。抛光颗粒以各种状态粘附到抛光后的晶片表面。必须确实去除可能成为产品缺陷原因的晶圆表面附着物,CMP后的清洗技术极为重要
2022-04-18 16:34