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  • 半导体制造工序CMP后的晶圆清洗工序

    CMP装置被应用于纳米级晶圆表面平坦化的抛光工艺。抛光颗粒以各种状态粘附到抛光后的晶片表面。必须确实去除可能成为产品缺陷原因的晶圆表面附着物,CMP后的清洗技术极为重要。在本文中,关于半导体制造

    2022-04-18 16:34

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    2022-03-21 13:39

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    2025-07-14 14:10

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    2022-04-20 16:11

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    2021-10-03 18:14

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    2010-02-08 09:16

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    2011-08-12 23:56

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    2018-04-16 13:34