在半导体器件的制造过程中，由于需要去除被称为硅晶片的硅衬底上纳米级的异物（颗粒），1/3的制造过程被称为清洗
2022-04-20 16:10
为了确保高器件产量，在半导体制造过程中，必须在几个点监控和控制晶片表面污染和缺陷。刷式洗涤器是用于实现这种控制的工具之一，尤其是在化学机械平面化工艺之后。尽管自20世纪90年代初以来，刷子刷洗就已在生产中使用，但刷洗过程中
2022-03-16 11:52
前段工艺（Front-End）、中段工艺（Middle-End）和后段工艺（Back-End）是半导体制造过程中的三个主要阶段，它们在制造过程中扮演着不同的角色。
2025-03-28 09:47
在这篇文章中，我们将学习基本的半导体制造过程。为了将晶圆转化为半导体芯片，它需要经历一系列复杂的
2024-10-16 14:52
VLSI制造过程中，晶圆清洗球定义的重要性日益突出。这是当晶片表面存在的金属、粒子等污染物对设备的性能和产量(yield)产生深远影响时的门。在典型的半导体制造工艺中，
2022-03-22 14:13
半导体器件被广泛应用于从智能手机到汽车等各个领域，在其制造过程中半导体光刻机必不可少。你知道吗，日本首台
2020-01-16 08:36
随着半导体技术的不断进步，晶圆制造作为集成电路产业的核心环节，对生产过程的精密性和洁净度要求日益提高。在众多晶圆制造工具中
2024-02-23 15:21
本发明涉及一种去除光刻胶的方法，更详细地说，是一种半导体制造用光刻胶去除方法，该方法适合于在半导体装置的制造
2022-04-13 13:56
