产业的基础技术。目前，纳米压印技术在国际半导体蓝图（ITRS）中被列为下一代32nm、22nm和16nm节点光刻技术的代表之一。国内外半导体设备制造商、材料商以及工艺商
2021-01-03 09:36
开始就专门针对半导体制造应用。在这些应用中，SFIL 具有作为室温、低压印力方法的优势。因此，SFIL 可以实现多级半导体器件制造所需的精细对准和覆盖控制。2001 年，SFIL 概念获得了
2022-03-30 14:30
对于纳米压印技术，佳能半导体设备业务部岩本和德介绍道，它是通过将刻有半导体电路图的掩膜压制于晶圆之上完成二维或三维电路成型的过程。岩本进一步补充道，若对掩膜进行改良，将
2023-12-25 14:51
书籍：《炬丰科技-半导体工艺》文章：III-V族半导体纳米线结构的光子学特性编号：JFSJ-21-075作者：炬丰科技 摘要：III-V 族半导体
2021-07-09 10:20
.什么是纳米压印** 纳米压印技术，从字面的意思剖析。纳米代表了这个技术加工的尺度是（
2023-02-20 15:20
佳能近日表示，计划年内或明年上市使用纳米压印技术的光刻设备FPA-1200NZ2C。对比已商业化的EUV光刻技术，虽然纳米压印的制造速度较传统方式缓慢，但由于制程简化，
2024-01-31 16:51
纳米压印是微纳工艺中最具发展潜力的第三代光刻工艺，是最有希望取代极紫外光的新一代工艺。最近，海力士公司从佳能购买了一套奈米压印机，进行了大规模生产，并取得了不错的效果。
2023-11-08 14:34
纳米压印技术，即Nanoimprint Lithography（NIL），是一种新型的微纳加工技术。该技术将设计并制作在模板上的微小图形，通过压印等技术转移到涂有高分子材料的硅基板上。
2023-05-19 09:37
日本最寄望于纳米压印光刻技术，并试图靠它再次逆袭，日经新闻网也称，对比EUV光刻工艺，使用纳米压印光刻工艺制造芯片，能够降低将近四成制造成本和九成电量，铠侠 (KIOX
2023-03-22 10:20
半导体是介于导体和绝缘体之间的材料。伴随着半导体市场的壮大，半导体材料也不断获得突破。半导体
2012-02-28 08:52
