本文中,为了在半导体制造中的平坦化工艺,特别是在形成布线层的工程中实现CMP后的高清洁面,关于湿法清洗所要求的功能和课题,关于适用新一代布线材料时所担心的以降低腐蚀及表面粗糙度为焦点的
2022-04-20 16:11
在半导体器件的制造过程中,由于需要去除被称为硅晶片的硅衬底上纳米级的异物(颗粒),1/3的制造过程被称为清洗过程。在半导体器件中,通常进行RCA清洁,其中半导体器件以一
2022-04-20 16:10
想象一下,在一个高科技的实验室里,微小的硅片正承载着数不清的电子信息,它们的洁净程度直接关系着芯片的性能。然而,当这些硅片表面附着了灰尘、油污或其他残留物时,其性能将大打折扣。数据表明,清洗不彻底
2025-04-11 16:26 科伟达超声波清洗设备 企业号
半导体制造工艺之光刻工艺详解
2023-08-24 10:38
24张PPT解读半导体单晶硅生长及硅片制备技术
2019-07-26 18:03
维持及提高工艺和产品的良品率对半导体工艺至关重要。任何对半导体工业做过些许了解的人都会发现,整个工艺对其生产良品率极其关
2018-10-14 09:38
详解半导体封装测试工艺
2023-05-31 09:42
在前几篇文章(点击查看),我们一直在借用饼干烘焙过程来形象地说明半导体制程 。在上一篇我们说到,为制作巧克力夹心,需通过“刻蚀工艺”挖出饼干的中间部分,然后倒入巧克力糖浆,再盖上一层饼干层。“倒入巧克力糖浆”和“盖上饼干层”的过程在
2023-06-29 16:56
半导体同时具有“导体”的特性,因此允许电流通过,而绝缘体则不允许电流通过。离子注入工艺将杂质添加到纯硅中,使其具有导电性能。我们可以根据实际需要使半导体导电或绝缘。 重
2023-07-03 10:21
在半导体和LED的制造中,需要研磨以使晶片的厚度变薄,以及抛光以使表面成为镜面。在半导体器件的制造中,半导体制造工艺包括:(1)从晶体生长开始切割和抛光硅等,并将其加工
2022-04-20 16:09