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浸入氨水，过氧化氢溶液，盐酸等加热的化学品中。然而，最近，为了降低环境负荷的目的和半导体器件的多品种化，需要片叶式的清洗方法，喷射纯水的清洗工序正在增加。在单片式

2022-04-20 16:10

半导体器件清洗工艺是确保芯片制造良率和可靠性的关键基础，其核心在于通过精确控制的物理化学过程去除各类污染物，同时避免对材料造成损伤。以下是该工艺的主要技术要点及实现路径的详细阐述：污染物分类与对应

2025-10-09 13:40 芯矽科技 企业号

本文中，为了在半导体制造中的平坦化工艺，特别是在形成布线层的工程中实现CMP后的高清洁面，关于湿法清洗所要求的功能和课题，关于适用新一代布线材料时所担心的以降低腐蚀及表面粗糙度为焦点的清洗

2022-04-20 16:11

半导体腐蚀清洗机是集成电路制造过程中不可或缺的关键设备，其作用贯穿晶圆加工的多个核心环节，具体体现在以下几个方面：一、精准去除表面污染物与残留物在半导体工艺中，光刻、刻蚀、离子注入等步骤会留下多种

2025-09-25 13:56 芯矽科技 企业号

选择合适的半导体槽式清洗机需要综合考虑多方面因素，以下是一些关键的要点：明确自身需求清洗对象与工艺阶段材料类型和尺寸：确定要清洗的是硅片、化合物

2025-09-28 14:13 芯矽科技 企业号

选择合适的半导体芯片清洗模块需要综合考虑工艺需求、设备性能、兼容性及成本效益等多方面因素。以下是关键决策点的详细分析：1.明确清洗目标与污染物类型污染物特性决定清洗策略

2025-09-22 11:04 芯矽科技 企业号

半导体清洗设备的选型是一个复杂的过程，需综合考虑多方面因素以确保清洗效果、效率与兼容性。以下是关键原则及实施要点：污染物特性适配性污染物类型识别：根据目标污染物的种类（如颗粒物、有机物、金属离子或

2025-08-25 16:43 芯矽科技 企业号

电子散热与温控领域中，半导体制冷片因其高效、无噪音、无振动等优势而被广泛应用。然而，要充分发挥半导体制冷片的性能，关键在于准确计算其实际功率需求。若功率匹配不当，可能导

2025-09-04 14:34 华晶温控 企业号

半导体RCA清洗工艺中使用的主要药液包括以下几种，每种均针对特定类型的污染物设计，并通过化学反应实现高效清洁：SC-1（碱性清洗液）成分组成：由氢氧化铵（NH₄OH）、过氧化氢（H₂O₂）和去离子水

2025-09-11 11:19 芯矽科技 企业号

半导体制冷片具有两种功能，既能制冷，又能加热，制冷效率一般不高，但制热效率很 高，永远大于 1。因此使用一个片件就可以代替分立的加热系统和制冷 系统 。 

2019-09-03 09:23