芯片制造中的各道工序极为精密,那么我们是如何保持工艺中无污染的呢?
2023-12-26 17:01
国际半导体设备暨材料协会代表芯片相关企业写了一封信,抗议美国政府可能封杀中芯
2020-09-19 10:29
浸入氨水,过氧化氢溶液,盐酸等加热的化学品中。然而,最近,为了降低环境负荷的目的和半导体器件的多品种化,需要片叶式的清洗方法,喷射纯水的
2022-04-20 16:10
喷涂工具、或单晶片旋转工具。在批量浸渍工具中,与其他湿法加工工具相比,存在由水槽中晶片之间的颗粒转移引起的交叉污染问题。批量旋转喷涂工具用于在生产线后端(BEOL)进行
2022-04-08 14:48
半导体设备位于整个半导体产业链的上游,在新建晶圆厂中半导体
2020-01-21 14:29
半导体制造工业中的湿法清洗/蚀刻工艺用于通过使用高纯化学品清洗或蚀刻来去除晶片上的颗粒或缺陷。扩散、光和化学气相沉积(C
2022-04-21 12:27