半导体清洗设备通过不断将各种污染杂质控制在工艺要求范围内,提高芯片的良率和性能,是芯片良率的重要保障。随着芯片技术的不断提升,清
2022-10-24 17:15
摘要 本文介绍了半导体晶片加工中为颗粒去除(清洗)工艺评估而制备的受污染测试晶片老化的实验研究。比较了两种晶片制备技术:一种是传统的湿法技术,其中裸露的硅晶片浸泡在充满颗粒的溶液中,然后干燥;另一种
2022-03-04 15:03
随着集成电路制造工艺不断进步,半导体器件的体积正变得越来越小,这也导致了非常微小的颗粒也变得足以影响半导体器件的制造和性能,槽式清洗
2022-08-15 17:01
半导体清洗SC1是一种基于氨水(NH₄OH)、过氧化氢(H₂O₂)和去离子水(H₂O)的化学清洗工艺,主要用于去除硅片表
2025-04-28 17:22
半导体设备和材料处于产业链的上游,是推动技术进步的关键环节。半导体设备和材料应用于集成电路、LED等多个领域,其中以集成电路的占比和技术难度最高。 01IC制造
2018-10-13 18:28
书籍:《炬丰科技-半导体工艺》 文章:下一代半导体清洗科技材料系统 编号:JFKJ-21-188 作者:炬丰科技 摘要 本文简要概述了面临的挑战晶圆
2023-04-23 11:03
随着科技的不断发展,半导体技术在全球范围内得到了广泛应用。半导体设备在制造过程中需要经过多个工艺步骤,而每个步骤都需要使用到各种不同的材料和
2023-10-16 15:34
半导体晶圆清洗设备市场预计将达到129\.1亿美元。到 2029 年。晶圆清洗是在不影响半导体表面质量的情况下去除颗粒或
2023-04-03 09:47