摘要 本文介绍了半导体晶片加工中为颗粒去除(清洗)工艺评估而制备的受污染测试晶片老化的实验研究。比较了两种晶片制备
2022-03-04 15:03
苏州晶淼专业生产半导体、光伏、LED等行业清洗腐蚀设备,可根据要求定制湿法腐蚀设备。晶淼半导体为国内专业微电子、半导体行业腐蚀清
2016-09-05 10:40
摘要 该公司提供了一种用于清洗半导体晶片的方法和设备 100,该方法和方法包括通过从装载端口 110 中的盒中取出两个或多个晶片来填充化学溶液的第一罐将
2022-02-28 14:56
本发明公开了一种用湿式均匀清洗半导体晶片的方法,所公开的本发明的特点是:具备半导体晶片和含有预定清洁液的清洁组、对齐上述
2022-04-14 15:13
:太阳能电池清洗设备, 半导体清洗设备,微电子工艺设备及清洗设备,太阳能电池片清洗刻蚀设备, 微电子
2011-04-13 13:23
引言 近年来,随着集成电路的微细化,半导体制造的清洗方式从被称为“批量式”的25枚晶片一次清洗的方式逐渐改变为“单张式”的晶片
2021-12-23 16:43
近年来,随着集成电路的微细化,半导体制造的清洗方式从被称为“批量式”的25枚晶片一次清洗的方式逐渐改变为“单张式”的晶片
2022-02-22 16:01
虽然听起来可能没有极紫外(EUV)光刻那么性感,但对于确保成功的前沿节点、先进半导体器件制造,湿法晶片清洗技术可能比EUV更重要,这是因为器件的可靠性和最终产品的产量都
2022-07-07 16:24
在许多半导体器件的制造中,硅是最有趣和最有用的半导体材料。 在半导体器件制造中,各种加工步骤可分为四大类,即沉积、去除、图形化和电性能的修改。 在每一步中,晶片
2022-04-01 14:25
和电子设备中存在的集成电路的工艺。在半导体器件制造中,各种处理步骤分为四大类,例如沉积、去除、图案化和电特性的改变。 最后,通过在半导体材料中掺杂杂质来改变电特性。晶片清洗
2024-04-08 15:32