摘要 本文介绍了半导体晶片加工中为颗粒去除(清洗)工艺评估而制备的受污染测试晶片老化的实验研究。比较了两种晶片制备
2022-03-04 15:03
摘要 该公司提供了一种用于清洗半导体晶片的方法和设备 100,该方法和方法包括通过从装载端口 110 中的盒中取出两个或多个晶片来填充化学溶液的第一罐将
2022-02-28 14:56
本发明公开了一种用湿式均匀清洗半导体晶片的方法,所公开的本发明的特点是:具备半导体晶片和含有预定清洁液的清洁组、对齐上述
2022-04-14 15:13
在半导体科学技术的发展中,气相外延发挥了重要作用,该技术已广泛用于Si半导体器件和集成电路的工业化生产。
2020-08-28 14:24
引言 近年来,随着集成电路的微细化,半导体制造的清洗方式从被称为“批量式”的25枚晶片一次清洗的方式逐渐改变为“单张式”的晶片
2021-12-23 16:43
7日,韩国科学技术研究研发出一种可弯曲的高韧性半导体,该半导体可应用于手机处理器(AP),大容量存储器和无线通信器件中。
2013-05-09 09:50
近年来,随着集成电路的微细化,半导体制造的清洗方式从被称为“批量式”的25枚晶片一次清洗的方式逐渐改变为“单张式”的晶片
2022-02-22 16:01
虽然听起来可能没有极紫外(EUV)光刻那么性感,但对于确保成功的前沿节点、先进半导体器件制造,湿法晶片清洗技术可能比EUV更重要,这是因为器件的可靠性和最终产品的产量都
2022-07-07 16:24
在许多半导体器件的制造中,硅是最有趣和最有用的半导体材料。 在半导体器件制造中,各种加工步骤可分为四大类,即沉积、去除、图形化和电性能的修改。 在每一步中,晶片
2022-04-01 14:25
,特等奖3项,一等奖16项,二等奖120项。 国家最高科学技术奖授予2人——著名的摄影测量与遥感学家、武汉大学李德仁院士,凝聚态物理领域著名科学家、清华大学薛其坤院士。中华人民共和国国际科学技术合作奖授予10人。 其
2024-06-27 17:50