[半导体前端工艺:第二篇] 半导体制程工艺概览与氧化
2023-11-29 15:14
说完了 FinFET,我们还有最后一个后缀,就是昨天报道中的 LPP、LPE 了,其实这些指的都是同一代工艺中的不同种类,比如 LPE(Low Power Early) 指早期低功耗工艺,而 LPP
2019-09-03 15:35
同样,在晶圆上制作 MOSFET时也采用这种顺序。晶圆加工的第一道工艺就是“制造”各种电子元器件。说是“制造”,其实就是通过在晶圆上的各种处理,绘制所需的电子元器件。这一过程我们称之为晶圆加工的前端工艺(FEOL,Front End Of the Line)。
2023-06-11 14:45
每日工艺小课堂集合,
2022-08-15 16:44
研究中,他们提出了一种顶栅互补碳纳米管金属-氧化物-半导体场效应晶体管结构(Top Gate complementary CNT MOSFETs)。在该结构中,通过将掺杂仅仅局限在延伸部分,而在通道保持未掺杂的状态,凭借这一架构课题组消除了金属电极的重叠
2024-01-05 16:08
在这个半导体制程工艺即将面临更新换代之际,我们不妨从设计、制造和代工不同角度审视一下,迎接全新工艺的半导体企业的应对策略。
2011-09-30 09:16
作为半导体产业的其中一个环节,半导体测试一直以来备受关注。随着半导体制程工艺不断提升,测试和验证也变得更加重要。
2019-04-11 09:12
的积体电路所组成,我们的晶圆要通过氧化层成长、微影技术、蚀刻、清洗、杂质扩散、离子植入及薄膜沉积等技术,所须制程多达二百至三百个步骤。半导体制程的繁杂性是为了确保每一个元器件的电性参数和性能,那么他的原理又是
2018-11-08 11:10
在半导体制程工艺中,有很多不同名称的用于移除多余材料的工艺,如“清洗”、“刻蚀”等。如果说“清洗”工艺是把整张晶圆上多余的不纯物去除掉,“刻蚀”
2023-06-15 17:51