离子束蚀刻 (Ion beam etch) 是一种物理干法蚀刻工艺。由此，氩离子以约1至3keV的离子束辐射到表面上。由于离子的能量，它们会撞击表面的材料。晶圆垂直或倾斜入离子束，蚀刻过程是绝对
2023-06-20 09:48
在干法蚀刻中，气体受高频（主要为 13.56 MHz 或 2.45 GHz）激发。在 1 到 100 Pa 的压力下，其平均自由程为几毫米到几厘米。
2023-06-20 09:49
很多化学物质氧化后会腐蚀自己但晶圆氧化生成的膜层却能保护自己“守护”晶圆的氧化工程是什么样的？解锁半导体8大工艺第二篇让芯君来满足你的好奇心 编辑：jq
2021-05-28 14:26
在科技日新月异的今天，半导体产业作为信息技术的基石，其重要性不言而喻。近期，日本半导体行业传来振奋人心的消息，索尼、三菱电机等八大日本半导体巨头携手宣布，将在未来数年内
2024-07-09 14:25
维持及提高工艺和产品的良品率对半导体工艺至关重要。任何对半导体工业做过些许了解的人都会发现，整个工艺对其生产良品率极其关
2018-10-14 09:38
本篇由小编分别来给大家盘点一下2018年中国大陆半导体设计、制造八大企业。
2019-01-01 14:09
[半导体前端工艺：第二篇] 半导体制程工艺概览与氧化
2023-11-29 15:14
全球政经局势的动荡，持续不断的技术颠覆，长期繁荣周期的结束，产能分布的不均衡等因素，加剧了半导体厂商之间的竞争。
2019-12-27 09:29
