离子束蚀刻 (Ion beam etch) 是一种物理干法蚀刻工艺。由此，氩离子以约1至3keV的离子束辐射到表面上。由于离子的能量，它们会撞击表面的材料。晶圆垂直或倾斜入离子束，蚀刻过程是绝对
2023-06-20 09:48
在干法蚀刻中，气体受高频（主要为 13.56 MHz 或 2.45 GHz）激发。在 1 到 100 Pa 的压力下，其平均自由程为几毫米到几厘米。
2023-06-20 09:49
问个菜的问题:半导体(或集成电路)工艺 来个人讲讲 半导体工艺 集成电路工艺 硅
2009-09-16 11:51
半导体工艺讲座ObjectiveAfter taking this course, you will able to? Use common semiconductor terminology
2009-11-18 11:31
很多化学物质氧化后会腐蚀自己但晶圆氧化生成的膜层却能保护自己“守护”晶圆的氧化工程是什么样的？解锁半导体8大工艺第二篇让芯君来满足你的好奇心 编辑：jq
2021-05-28 14:26
半导体器件与工艺
2012-08-20 08:39
有没有半导体工艺方面的资料啊
2014-04-09 22:42
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:51 编辑 半导体工艺
2012-08-20 09:02
一个比较经典的半导体工艺制作的课件，英文的，供交流……
2012-02-26 13:12
