电子发烧友

      审核编辑：彭静

2022-11-03 10:00

机理出发,结合反应 室设计和材料科学的发展,介绍了化学气相沉积(CVD)法碳化硅外延设备反应室、加热系统和旋转系统等的技术进 展,最后分析了 CVD 法碳化硅外延设备未

2023-02-16 10:50

挑战。低压化学气相沉积（Low-PressureCVD,LP-CVD）技术凭借其高可控性、材料利用率高（>60%）及优异的薄膜均匀性，成为实现工业化生产的理想路径

2025-05-19 09:05 美能光伏 企业号

BC电池是一种先进的太阳能电池结构，通过在电池背面交替排列p型和n型掺杂区域，消除了正面的光学遮挡损失。本文提出了一种简化的、无需掩膜的掺杂工艺，通过调整APCVD工艺中的硼和磷含量，可以自由调节p型和n型掺杂剖面。ECV测量和四点探针法分别表征了掺杂剖面和薄层电阻。传输线法（TLM）测量表明，生成的掺杂区域具有良好的接触性。现有IBC工艺的现状左：传统IB

2025-03-05 09:02 美能光伏 企业号

化学气相沉积 (CVD) 能够生产出兼具高质量、高纯度及高强度等优点的材料，因此在半导体行业非常受欢迎。超高真空化学

2018-06-02 09:23

半导体靶材是半导体材料制备过程中的重要原料，它们在薄膜沉积、物理气相沉积（PVD）、化学气

2024-09-02 11:43 北京中科同志科技股份有限公司 企业号

随着科技的不断发展，金刚石在许多领域中都展现出了巨大的应用潜力。其中，化学气相沉积（CVD）金刚石由于其独特的物理和化学

2024-01-04 10:17

澳大利亚的BluGlass公司声称使用他们的低温远程等离子体化学气相沉积（RPCVD）技术可以产生理想纯度的氮化镓（GaN）。该公司说，他们的RPCVD技术可以产生低含

2012-11-05 14:50

基于此，在本项研究中，利用化学气相沉积法（CVD）制备的大面积石墨烯薄膜转移到硅微米孔阵列衬底上，构建了石墨烯/硅微米孔阵列异质结构光探测器。图1展示了石墨烯/硅微米孔

2022-09-13 11:43

SiC外延生长技术是SiC功率器件制备的核心技术之一，外延质量直接影响SiC器件的性能。目前应用较多的SiC外延生长方法是化学气相沉积（CVD），本文简要介绍其生产过程

2024-11-14 14:46