机理出发,结合反应 室设计和材料科学的发展,介绍了化学气相沉积(CVD)法碳化硅外延设备反应室、加热系统和旋转系统等的技
2023-02-16 10:50
SiC涂层的制备方法主要有凝胶-溶胶法、包埋法、刷涂法、等离子喷涂法、化学气
2023-05-11 11:13
在等离子增强化学气相沉积法PECVD沉积 SiO2和 SiN掩蔽层过程中
2018-12-17 08:00
这其中，镀膜方法一般可以分为气相生成法、氧化法、离子注入法、扩散法、电镀法、涂布
2023-01-03 14:22
1）等离子化学气相沉积法 该
2010-07-18 11:23
规制备铝钪氮薄膜的技术有磁控溅射法（Sputtering）、分子束外延法（MBE）和金属有机化学气相沉积
2021-03-29 16:20
采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备掺氮金刚石薄膜，研究了不同氮气流量对金刚石膜的生长速率、表面形貌和膜品质的
2009-05-16 01:48
基于此，在本项研究中，利用化学气相沉积法（CVD）制备的大面积石墨烯薄膜转移到硅微米孔阵列衬底上，构建了石墨烯/硅微米孔
2022-09-13 11:43
石墨烯是一种六方点阵蜂窝状结构的二维( 2D) 材料，由sp2杂化碳原子相互连接构成。目前，应用较为广泛的制备石墨烯方法主要有: 机械剥离法、Hummers 法( 制备石墨烯的化学氧化-还原
2019-05-10 09:09
