分度卡盘液压系统由液压泵站、旋转阀、输油管和分度卡盘四部分组成。液压泵站独立于数控车床之外，避免液压泵站振动、发热对机床精度的影响；泵电动机组由变量泵和电动机组合而成，同轴度好；液压控制回路采用集成块叠加液压阀式结构，结构紧凑；截止阀镶嵌于集成块内部， 蓄能器安装
2020-07-10 10:26
在半导体制造的精密工艺流程中，每一个零部件都扮演着至关重要的角色，而静电卡盘（Electrostatic Chuck，简称E-Chuck）无疑是其中的佼佼者。作为固定晶圆的关键设备，静电卡盘以其独特的静电吸附原理、高精度的温度控制能力以及广泛的适用性，在半导体制造
2025-03-31 13:56 北京中科同志科技股份有限公司 企业号
在将器件切割并组装到封装/散热器中之前，通常在探针台晶片夹盘上利用变薄的晶片执行电测试。当薄的晶圆位于卡盘上时，由于以下原因，在整个薄的晶圆接触区域上均匀地保持真空是至关重要的
2023-02-22 13:57
此项发明涉及一种新型沉积设备、静电卡盘和加热机构，并提供了相应的控温方法。加热机构主要由导热板、加热组件及控制器组成。加热组件包含至少两个加热元件，其中一个为主加热元件，其他则作为备用。
2024-04-15 10:07
该MicroVac™卡盘专为正在测试高功率RF放大器（通常为HEMT器件，工作频率高达60 GHz）的客户而设计。这些高电子迁移率晶体管在III / V化合物半导体衬底（GaAs或GaN晶片
2022-06-21 14:52
混合动力汽车,混合动力汽车是什么意思 混合动力汽车就是在纯电动汽车上加装一套内燃机，其目的是减少汽车的污染，提高纯电动汽
2010-03-17 14:32
本文首先阐述了动力电池的种类，其次介绍了动力电池的特点，最后介绍了动力电池的应用领域。
2020-03-19 09:38
插电式混合动力汽车（Plug-in hybrid electric vehicle，简称PHEV）是新型的混合动力电动汽车。区别于传统汽油动力与电驱动结合的混合动力，插
2017-12-19 16:46
