分度卡盘液压系统由液压泵站、旋转阀、输油管和分度卡盘四部分组成。液压泵站独立于数控车床之外,避免液压泵站振动、发热对机床精度的影响;泵电动机组由变量泵和电动机组合而成,同轴度好;液压控制回路采用集成块叠加液压阀式结构,结构紧凑;截止阀镶嵌于集成块内部, 蓄能器安装
2020-07-10 10:26
晶圆卡盘的正确清洗是确保半导体制造过程中晶圆处理质量的重要环节。以下是一些关键的清洗步骤和注意事项: 准备工作 个人防护:穿戴好防护服、手套、护目镜等,防止清洗剂或其他化学物质对身体造成伤害。 工具
2025-11-05 09:36
在半导体制造的精密工艺流程中,每一个零部件都扮演着至关重要的角色,而静电卡盘(Electrostatic Chuck,简称E-Chuck)无疑是其中的佼佼者。作为固定晶圆的关键设备,静电卡盘以其独特的静电吸附原理、高精度的温度控制能力以及广泛的适用性,在半导体制造
2025-03-31 13:56 北京中科同志科技股份有限公司 企业号
在将器件切割并组装到封装/散热器中之前,通常在探针台晶片夹盘上利用变薄的晶片执行电测试。当薄的晶圆位于卡盘上时,由于以下原因,在整个薄的晶圆接触区域上均匀地保持真空是至关重要的
2023-02-22 13:57
此项发明涉及一种新型沉积设备、静电卡盘和加热机构,并提供了相应的控温方法。加热机构主要由导热板、加热组件及控制器组成。加热组件包含至少两个加热元件,其中一个为主加热元件,其他则作为备用。
2024-04-15 10:07
该MicroVac™卡盘专为正在测试高功率RF放大器(通常为HEMT器件,工作频率高达60 GHz)的客户而设计。这些高电子迁移率晶体管在III / V化合物半导体衬底(GaAs或GaN晶片
2022-06-21 14:52
混合动力汽车,混合动力汽车是什么意思 混合动力汽车就是在纯电动汽车上加装一套内燃机,其目的是减少汽车的污染,提高纯电动汽
2010-03-17 14:32
本文首先阐述了动力电池的种类,其次介绍了动力电池的特点,最后介绍了动力电池的应用领域。
2020-03-19 09:38