分度卡盘液压系统由液压泵站、旋转阀、输油管和分度卡盘四部分组成。液压泵站独立于数控车床之外,避免液压泵站振动、发热对机床精度的影响;泵电动机组由变量泵和电动机组合而成,同轴度好;液压控制回路采用集成块叠加液压阀式结构,结构紧凑;截止阀镶嵌于集成块内部, 蓄能器安装
2020-07-10 10:26
在半导体制造的精密工艺流程中,每一个零部件都扮演着至关重要的角色,而静电卡盘(Electrostatic Chuck,简称E-Chuck)无疑是其中的佼佼者。作为固定晶圆的关键设备,静电卡盘以其独特的静电吸附原理、高精度的温度控制能力以及广泛的适用性,在半导体制造
2025-03-31 13:56 北京中科同志科技股份有限公司 企业号
本文档的主要内容详细介绍的是不需要自锁的气动卡盘数控电气原理图免费下载。
2020-01-06 08:00
在将器件切割并组装到封装/散热器中之前,通常在探针台晶片夹盘上利用变薄的晶片执行电测试。当薄的晶圆位于卡盘上时,由于以下原因,在整个薄的晶圆接触区域上均匀地保持真空是至关重要的
2023-02-22 13:57
此项发明涉及一种新型沉积设备、静电卡盘和加热机构,并提供了相应的控温方法。加热机构主要由导热板、加热组件及控制器组成。加热组件包含至少两个加热元件,其中一个为主加热元件,其他则作为备用。
2024-04-15 10:07
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2021-11-02 15:33
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2021-04-19 15:38
同步降压动力总成设计是当今最普遍使用的转换器拓扑结构之一,但为中低压同步降压转换器选择合适 的动力总成元件可能是一项艰巨的任务。设计人员必须从一系列看似无限的器件中选择功率MOSFET,简单
2018-10-16 06:48