激光微纳加工技术利用激光脉冲与材料的非线性作用，可以<100nm精度实现传统方法难以实现的复杂功能结构和器件的增材制造。而激光直写（DLW）光刻是一项具有空间三维
2023-12-22 10:34
近年来，随着科技的不断发展，微纳加工技术逐渐成为半导体领域的重要工具。
2024-01-23 10:43
本文首先介绍了微流控芯片的发展，其次介绍了微流控芯片的原理与特点，最后详细介绍了微流控芯片加工技术。
2018-05-10 16:27
本文是A. N. BROERS关于扫描电镜在微纳加工中应用的研究回顾，重点记录了他从1960年代开始参与电子束加工技术开发的历程。文章详细记录了EBL
2025-06-20 16:11
人们很早就尝试利用激光进行微加工。但是由于激光的长脉冲宽度和低激光强度造成材料熔化并持续蒸发，虽然激光束可以被聚焦成很小的光斑，但是对材料的热冲击依然很大，限制了加工的精度。唯有减少热影响才能提高
2018-01-18 11:35
精密加工技术是为适应现代高技术需要而发展起来的先进制造技术，是其它高新技术实施的基础。 精密加工技术的发展也促进了机械、
2018-09-26 16:28
激光加工技术是利用高能量激光束与物质相互作用的特性，对金属及非金属材料进行切割、焊接、打孔、蚀刻、微调、存储、划线、清洗、热处理及表面处理等的一门加工技术。
2024-01-26 13:42
相比传统体加工技术，表面微机械加工通过“牺牲层腐蚀”工艺，可构建更复杂的三维微结构，显著扩展设计空间。
2025-06-26 14:01
磁场辅助激光加工技术是利用磁场约束激光加工诱导的等离子体，致使等离子体沿磁场方向膨胀，其余方向受压缩，因而等离子体的密度会很低，大大削弱了屏蔽效果，使更多的激光能量能够穿透材料。
2023-11-23 15:03
